Ashcroft? HPX50/63超高純袖珍壓力表為半導體和電子制造行業(yè)中的超高純度氣體輸送系統(tǒng)提供了良好的性能和可靠性。
全不銹鋼外殼和接液材質 316L不銹鋼接液元件 100%氦氣泄漏測試 潔凈室包裝
高純度氣體輸送系統(tǒng) 氣體控制組件 流程氣體分析儀 半導體
精度: (63mm) ±1.5% 滿量程 (50mm) ±2.4-1.6-2.4% 滿量程 | 尺寸: 50 mm 63 mm |
量程: 0 - 3,000 psi 真空至15 psi 真空至300 psi 0 - 60 psi | 表面光潔度: 管道和配件 < 1.6 μm Ra (<0.25 μm Ra 可選) |
過程連接尺寸: 50 mm: 9?16-18 UNF 外螺紋或內螺紋(兼容? VCR?) 63 mm: G ? B 外螺紋, R ? 外螺紋, ? NPT 外螺紋, 9?16-18 UNF 外螺紋 (兼容 ? VCR?) | 過程連接位置: 50mm: 徑向,中心軸向 63mm: 徑向,中心背部 |
外殼材質: 不銹鋼 | 接液材質: 316L不銹鋼 |
表玻璃: (50mm)聚碳酸酯 (63mm)普通玻璃 |
ROHS
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