半導(dǎo)體
Semiconductor
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半導(dǎo)體工業(yè)幾乎影響了我們生活的各個(gè)方面。從手機(jī)、電腦、電視、汽車到其他電子設(shè)備的存在都依賴于半導(dǎo)體的應(yīng)用，但是其精密的制造工藝及嚴(yán)苛的生產(chǎn)環(huán)境，必須由專門(mén)的設(shè)備和儀器儀表來(lái)保證其安全、高效、精準(zhǔn)地生產(chǎn)和運(yùn)行。
在這方面我們經(jīng)歷了數(shù)十年的耕耘和努力，為半導(dǎo)體行業(yè)的需求設(shè)計(jì)了專用的高品質(zhì)壓力測(cè)量?jī)x表。它們具有316L不銹鋼、氟聚合物 (PTFE/PFA) 等不同的接液部件，同時(shí)使用兼容VCR?專用接頭及超潔凈的表面處理，保證了超高純的工藝連接。每臺(tái)儀表在出廠前都會(huì)進(jìn)行嚴(yán)格的氦氣檢漏測(cè)試，以及潔凈室的氮?dú)獯祾?、烘干、無(wú)塵包裝等工序，以確保其高度清潔沒(méi)有污染。 同時(shí)，我們的壓力傳感器產(chǎn)品系列，均使用CVD壓力傳感器技術(shù)，進(jìn)行精確穩(wěn)定的壓力測(cè)量。我們產(chǎn)品的性能滿足關(guān)鍵的半導(dǎo)體工藝制程的要求。
氣體面板控制進(jìn)入處理室的氣體流量。壓力傳感器安裝在每個(gè)氣體棒上的氣體面板內(nèi)部，以監(jiān)控壓力調(diào)節(jié)器的壓力輸出，使系統(tǒng)整體以更好的精度、準(zhǔn)確度和速度運(yùn)行。
半導(dǎo)體應(yīng)用中使用的一些氣體是有毒的、易燃的，并且對(duì)處理它們的人來(lái)說(shuō)是危險(xiǎn)的。因此許多產(chǎn)品必須通過(guò)ATEX和IECEx危險(xiǎn)場(chǎng)所認(rèn)證。我們生產(chǎn)的超高純壓力變送器和壓力表專為半導(dǎo)體工業(yè)應(yīng)用的安全使用而設(shè)計(jì)。
氫氣是UHP氣體輸送中最常用的載氣之一。安全處理氫氣需要采取保護(hù)措施來(lái)降低火災(zāi)或爆炸的風(fēng)險(xiǎn)。首選方法包括本質(zhì)安全和防火花認(rèn)證。對(duì)材質(zhì)來(lái)說(shuō)，一個(gè)關(guān)鍵因素是氫脆的影響。壓力變送器和壓力表的穩(wěn)定性和可重復(fù)性依賴于測(cè)量元件，這些元件的性能和接液材質(zhì)的冶金工藝以及耐氫脆性能直接相關(guān)。Ashcroft超高純變送器和壓力表采用高純度奧氏體316L不銹鋼，該不銹鋼已被證明可減輕氫脆的影響。
防止污染物滲入潔凈室和其他潔凈空間所需的壓力需要精確的監(jiān)控。壓力過(guò)低會(huì)導(dǎo)致不需要的顆粒進(jìn)入該區(qū)域，而壓力過(guò)高會(huì)導(dǎo)致過(guò)多的空氣流動(dòng)和能量浪費(fèi)。集成到空氣處理設(shè)備中的壓力傳感器和壓力表必須非常靈敏、精確和可靠。
半導(dǎo)體制造包括將空白的晶圓轉(zhuǎn)變?yōu)榉至⒌奈㈦娮釉骷漠惓?fù)雜的過(guò)程。電路設(shè)計(jì)完成后被蝕刻到晶片上。這些晶片又被分割成單個(gè)的電路。晶片上電路的數(shù)量和密度不斷突破極限。濕法蝕刻使用腐蝕性化學(xué)物質(zhì)進(jìn)行微加工。
包括反應(yīng)離子蝕刻(RIE)的干法蝕刻工藝通常用于在硅晶片圖案上形成接觸孔。它使用活性氣體，如碳氟化合物、氧氣、氯氣和三氯化硼?；一且环N類似于干法蝕刻的工藝，用于去除晶片上的光刻膠(光敏涂層)。等離子體灰化使用氧氣或氟氣，根據(jù)精確的壓力測(cè)量來(lái)控制這些氣體的流速非常重要。
半導(dǎo)體工業(yè)中的化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝涉及使用載氣，例如氮?dú)饣蜓鯕?，?lái)稀釋有毒氣體，例如磷化氫或一氧化二氮。半導(dǎo)體氣體可能是易燃、有毒和易爆的，因此必須仔細(xì)選擇經(jīng)過(guò)適當(dāng)認(rèn)證的本質(zhì)安全或非易燃的壓力傳感器，以滿足關(guān)鍵的安全要求。
半導(dǎo)體工業(yè)中的超純水被處理到最高純度，去離子水去除了所有有機(jī)顆粒和溶解氣體。半導(dǎo)體工藝如晶片清洗需要超純水和去離子水，以防止因外來(lái)顆粒的污染而產(chǎn)生缺陷并損壞晶片表面。這些應(yīng)用對(duì)壓力表和壓力傳感器的材質(zhì)提出了挑戰(zhàn)。
雅斯科的壓力測(cè)量技術(shù)和產(chǎn)品，包括配備CVD傳感元件的高純壓力傳感器以及使用?Si-Glas??超薄單晶硅膜片可變電容傳感元件的微差壓傳感器，在諸如氣體控制面板，氫氣壓力檢測(cè)，以及潔凈室關(guān)鍵環(huán)境控制等應(yīng)用領(lǐng)域，為半導(dǎo)體制程和設(shè)備提供精確的測(cè)量和有效的保障。
半導(dǎo)體行業(yè)的清潔度水平超過(guò)醫(yī)療和制藥行業(yè)的10,000倍甚至更多。如此高標(biāo)準(zhǔn)的要求是基于半導(dǎo)體制程的精密性，也是因?yàn)橹瞥瘫晃廴舅斐傻膿p失巨大。實(shí)際上某些設(shè)備需要多達(dá)400個(gè)工藝步驟，也增加了被污染的機(jī)率。 因此，半導(dǎo)體行業(yè)使用的超高壓氣體純度至少為99.999％。
Ashcroft??ZT/ZX系列高純壓力傳感器 基于CVD傳感元件平臺(tái)，是超純應(yīng)用的專用壓力傳感器產(chǎn)品，其產(chǎn)品特性包括能適應(yīng)不同介質(zhì)的接液元件材質(zhì)，如316L, A286，Co-Ni 合金等，也包括兼容VCR?接頭，以及符合規(guī)范的表面光潔度和測(cè)量精度。 每臺(tái)產(chǎn)品都經(jīng)過(guò)泄漏檢測(cè)(>5 x 10-11 mbar L/s)以及雙重包裝處理，確保完整性和潔凈度。該產(chǎn)品系列與多種過(guò)程氣體兼容，并在長(zhǎng)期過(guò)程測(cè)量中表現(xiàn)出較高的穩(wěn)定性。
Ashcroft??ZL91?和?ZL92?超高純行業(yè)壓力傳感器是我們半導(dǎo)體產(chǎn)品系列的新成員。兩種型號(hào)均提供 ±1.0%滿量程精度（參考溫度為23°C)，多種安裝選項(xiàng)，并在 100 級(jí)潔凈室中組裝和包裝。
Ashcroft? 63mm HPT防腐蝕壓力表為半導(dǎo)體和電子制造行業(yè)的化學(xué)輸送系統(tǒng)提供了卓越的性能和可靠性。它的氮泄漏測(cè)試，以確保卓越的完整性，而緊湊的設(shè)計(jì)是有限空間安裝的理想選擇。在無(wú)污染過(guò)程中，接液部件可防止金屬離子洗脫，非常適合超純水或去離子水過(guò)程。
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